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钼铜合金简介
w一Cu合金、钼铜合金由于高导热性而作为热沉质料获得应用。此两种合金性能靠近,MO一Cu合金的密度小于W一Cu合金,相比之下MO一Cu合金具有优势。MO一Cu合金的制备现主要接纳熔浸法MO一Cu合金制作专利sj[,使用的为化学活化烧结法。此种要领虽较先进并在一定水平上战胜了熔浸法的缺乏,但其不尽人意之处在于:烧结历程化学反应爆发的侵蚀性气体将对情形造成倒运影响和烧结后体积缩短极大,尺寸难以控制。本文提出接纳机械活化处置惩罚MO、Cu粉末,使其具有较高的外貌能,获得和化学活化烧结法相近的效果,同时具有工艺轻盈的特点
钼铜合金的制成工艺
1、本文提出的钼铜合金制作工艺流程为:MO、Cu粉末混淆,机械活化,过筛磨练一压制成形~氢气相丝炉中烧结,后续致密化处置惩罚~磨练与测试~制品接纳后续致密化处置惩罚目的是进一步改善质料的微观组织及某些使用性能。
2、MoCu混淆粉末举行机械活化处置惩罚,通过取样视察后发明:处置惩罚一准时间后,粉末颗粒大部分已成扁平状,少量为极细颗粒。扁平状的颗粒有显着的层片状,泛起了机械合金化前期典范的层状组织。
3、粉末层状组织的泛起是由于活化处置惩罚历程中爆发冷焊断裂后露出的新鲜原子面又爆发焊合,从而焊合和断裂重复交替举行,形成了此种组织。较长时间的活化处置惩罚,取样时粉末易自燃,且使粉末中的杂质含量偏高,并且他人的实验已经证实,纵然MO、Cu混淆粉末经很长时间的球磨处置惩罚(达20小时),X射线剖析批注也仅仅颗粒细化,MO、Cu不形成合金化
4、综合思量以为:活化处置惩罚适其时间,可使MO、Cu粉末颗粒细化,爆发气械合金化初期的层状组织,具有较高的外貌能,进一步的烧结实验就以具有这种片层状组织的混淆粉末为实验开发目的
钼铜合金的到密化处置惩罚及其相关性能
1、只管MO、CU粉末经活化处置惩罚后,液相烧结能够抵达相当高的密度,但由于集成电路所用热沉质料对合金密度要求严酷,即气密性相当好,应抵达理论密度,并和陶瓷基片有优异的热膨胀系数匹配性、焊接性及优良的热导率
2、上述活化处置惩罚和烧结工艺等步伐的实验,合金的性能仍达不到客户的要求,不可成为产品直接使用,为此我们接纳致密化处置惩罚制成工也,使钼铜合金的性能知足客户要求,其相关性能见表1